0620200211: Room-temperaturedepositionofferroelectricHfO2-basedfilmsbythesputteringmethod,Appl.Phys.Lett.  (东京工业大学，山东日本) 在室温下，山东通过射频磁控溅射法生长了外延的7%Y掺杂-HfO2（0.07YO1.5-0.93HfO2，YHO7）薄膜,并且验证其具有铁电性，该合成策略无需任何后续热处理过程。

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